- Образцы используют в высоком вакууме. Существуют системы, которые работают во влажных условиях, низком вакууме. Если материал непроводящий, наносится ультратонкое покрытие с электропроводящим составом.
- Образцы должны обладать свойствами электропроводности. Дополнительное требование – наличие заземления для защиты от скопления электростатического заряда.
Для проведения микроанализа поверхности различных образцов используются растровые шаблоны. Положение луча сочетается с интенсивностью появления сигнала. В результате получается изображение.
Интерпретация заключается в контрасте изображения, который зависит от разности детектируемых сигналов от рядом расположенных участков на образце. Учитывается химический состав, топография поверхности, локальные электрические и магнитные поля.